Correction To "M-Test : A Test Chip For Mems Material Property Measurement Using Electrostatically Actuated Test Structures"  

Oleh:

Osterberg, P. M. ; Senturia, S. D.

Jenis: Article from Bulletin/Magazine
Dalam koleksi: Journal of Microelectro Mechanical System vol. 6 no. 3 (1997), page 286.
Topik: PROPERTY; m - test; test chip; mems material property; measurement; electrostatically; test structures

Ketersediaan

Perpustakaan Pusat (Semanggi) Nomor Panggil: JJ30.2 Non-tandon: 1 (dapat dipinjam: 0) Tandon: tidak ada

Lihat Detail Induk

Opini Anda

Klik untuk menuliskan opini Anda tentang koleksi ini!

Kembali